Keithley 2600B 系列系統(tǒng) SMU 儀器是業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)電流-電壓源和測量解決方案，適用于高度自動化生產(chǎn)測試應(yīng)用。 雙通道和單通道型號都緊密集成一個精密電源、真正電流源、數(shù)字萬用表和具有脈沖生成功能的電子負(fù)載。 另外，TSP? 技術(shù)可運(yùn)行完整測試程序，適用于自動化系統(tǒng)應(yīng)用，TSP-鏈路?技術(shù)允許菊花式鏈接最多 64 條通道，適用于大容量并行測試。

2600B系列系統(tǒng)數(shù)字源表源測量單元（SMU）儀表是業(yè)界一流的電流/電壓源 與測量解決方案，它是利用吉時利第三代源測量單元（SMU）技術(shù)建造的。2600B 系列產(chǎn)品包括單通道和雙通道型號，集成了高精密電源、真正電流源、6位半數(shù)字多用表（DMM）、任意波形發(fā)生器、脈沖發(fā)生器以及電子負(fù)載等功能——這些功能都在一個高度集成的儀器機(jī)箱內(nèi)。這是一個功能強(qiáng)大的解決方案，大大提高了從臺式 I/V特性分析道高度自動化生產(chǎn)測試等各種應(yīng)用中的測試效率。對于臺式應(yīng)用，2600B系列數(shù)字源表內(nèi)置基于Java的測試軟件，支持即插即用I/V測試，可以通過世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。對于自動化系統(tǒng)應(yīng)用，2600B系列數(shù)字源表的測試腳本處理器(TSP)，可以運(yùn)行儀器內(nèi)存儲的完整測試程序，實(shí)現(xiàn)業(yè)界最佳的吞吐量。在更大型的多通道應(yīng)用中，吉時利的TSP-Link技術(shù)與TSP協(xié)同工作，實(shí)現(xiàn)了高度、SMU-per-pin并行測試。由于2600B系列數(shù)字源表源測量單元（SMU）儀表具有不需要主機(jī)的、完全隔離的通道，因此，可以根據(jù)測試應(yīng)用需求的進(jìn)展，很容易進(jìn)行重新配置和重新部署。

基于Java的即插即用I/V測試軟件

2600B系列數(shù)字源表是唯一內(nèi)置基于Java測試軟件的源測量單元（SMU）儀表， 支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通過世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。這個獨(dú)特功能提高了研發(fā)、教育和QA/FA等各種應(yīng)用的測試效率。只需通過附送的 LAN電纜，將2600B數(shù)字源表連接至互聯(lián)網(wǎng)，打開瀏覽器，輸入2600B的IP低至，即可開始測試。測試結(jié)果可以下載之電子數(shù)據(jù)表（如Excel），供進(jìn)一步的分析和格式化，或者導(dǎo)入其他文檔或演示文稿。

采用TSP技術(shù)，提供無與倫比的吞吐量，適合自動測試

對于需要最高自動化和吞吐量級別的測試應(yīng)用來說，2600B數(shù)字源表的TSP技術(shù)提供了業(yè)界最佳的性能。TSP技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越傳統(tǒng)的測試命令序列……它完全嵌入，然后，在源測量單元（SMU）儀器內(nèi)部執(zhí)行完整的測試程序。這實(shí)際上避免了所 有耗時的總線-PC控制器之間的通信，因此，大幅縮短整個測試時間。

 

TSP技術(shù)將執(zhí)行來自2600B系列數(shù)字源表內(nèi)非易失性存儲的完整測試程序。

通過TSP-Link技術(shù)，實(shí)現(xiàn)SMU-Per-Pin并行測試

TSP-Link是通道擴(kuò)展總線，支持多 個2600B系列數(shù)字源表互連，成為一個單 一、嚴(yán)格同步的多通道系統(tǒng)。2600B的 TSP-Link技術(shù)與其TSP技術(shù)協(xié)同工作，支 持高速、SMU-per-pin并行測試。與大型 自動測試設(shè)備系統(tǒng)等其他高速解決方案 不同的是，2600B在無需主機(jī)成本或負(fù)擔(dān) 情況下，實(shí)現(xiàn)了并行測試性能?；赥SP -Link技術(shù)的系統(tǒng)，還支持出眾的靈活性， 可以根據(jù)測試需求的變化，迅速而容易 地對系統(tǒng)進(jìn)行重新配置。

在TSP-Link系統(tǒng)中，所有通道的同步都控制在 500ns以內(nèi)。

2400型軟件仿真

2600B系列數(shù)字源表，與為吉時利2400 型數(shù)字源表源測量單元（SMU）儀表開發(fā)的測試代碼兼容。這使得基于2400型數(shù)字源 表的測試系統(tǒng)更容易地升級至2600B系列， 并使測試速度提高高達(dá)80%。此外，它還提供了從SCPI編程轉(zhuǎn)到吉時利TSP技術(shù)的過渡路徑，實(shí)施后，可以進(jìn)一步縮短測試時間。
為了全面支持遺留的測試系統(tǒng)，在這個模式下，還完全支持2400型源存儲清單測試序列。

第三代SMU設(shè)計(jì)，確保實(shí)現(xiàn)更快的測試時間

在早期2600系列儀器成熟的架構(gòu)基礎(chǔ) 上，2600B系列最新的源測量單元（SMU） 儀表設(shè)計(jì)從幾個方面提高了測試速度。例 如，早期的設(shè)計(jì)采用的是并聯(lián)電流量程調(diào) 節(jié)結(jié)構(gòu)，而2600 B系列采用了已申請專利 的串聯(lián)量程調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)具有更快 更平滑的量程變換過程和穩(wěn)定速度更快的 輸出。

SMU-Per-Pin并行測試采用TSP與TSP-Link技術(shù)，提高測試吞吐量，并降低測試成本。

2600B系列數(shù)字源表源測量單元 （SMU）儀表設(shè)計(jì)支持對各種負(fù)載使用 兩種操作模式。在普通模式下，源測 量單元（SMU）儀表為最大吞吐量提供 高帶寬性能。在高電容模式下，源測 量單元（SMU）儀表使用較慢的帶寬， 為較高電容負(fù)載提供魯棒的性能。

簡化半導(dǎo)體元件測試、驗(yàn)證與分析

可選配的ACS Basic版本軟件實(shí)現(xiàn)了客戶效率的最大化，使客戶可以在開發(fā)、質(zhì)量認(rèn)證或故障分析中，對封裝器件進(jìn)行特性分析。主要特性包括：

• 內(nèi)容豐富、易于訪問的測試庫
• 腳本編輯器，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有測試的快速定制
• 數(shù)據(jù)工具，便于迅速比較測試結(jié)果
• 公式工具，便于分析俘獲的曲線，并提供多種數(shù)據(jù)函數(shù)。

欲了解有關(guān)ACS Basic版本軟件的更多信息，參見ACS Basic版本數(shù)據(jù)表。

強(qiáng)大的軟件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用軟 件以及可選配的ACS Basic版本軟件，免 費(fèi)Test Script Builder軟件工具，可以 幫助用戶創(chuàng)建、修改、調(diào)試和存儲TSP測 試腳本。圖1給出2600B系列數(shù)字源表軟 件工具的主要特性。

2600B系列產(chǎn)品3個最新型號的雙通道 臺式數(shù)字源表，提供業(yè)界最佳的價值 和性能

如果想調(diào)試設(shè)計(jì)問題，首先必須知道存在問題。每個設(shè)計(jì)工程師都要用大量的時間查找電路中的問題，如果沒有合適的調(diào)試工具，這項(xiàng)任務(wù)耗時長、非常麻煩。

為了滿足那些不需要一流系統(tǒng)級自 動化能力的應(yīng)用需求，吉時利對2600B系 列數(shù)字源表進(jìn)行了擴(kuò)展，推出3中最新的 高性價比臺式型號產(chǎn)品——2604B、2614B和 2634B。這些型號產(chǎn)品性能分別與2602B、 2612B和2636B相似，但它們不包括TSP Link、接觸檢查以及數(shù)字I/O能力。

完整的自動化系統(tǒng)解決方案

吉時利S500綜合測試系統(tǒng)是基于儀 器的、可高度配置的系統(tǒng)，適合器件、 晶圓或晶圓盒的半導(dǎo)體特性分析。S500 綜合測試系統(tǒng)基于已被證明的2600系列 系統(tǒng)數(shù)字源表源測量單元（SMU），提供 創(chuàng)新的測量特性與系統(tǒng)靈活性，可以根據(jù)需求進(jìn)行升級。其獨(dú)特的測量能力， 再加上強(qiáng)大而靈活的自動特性分析套 件(ACS)軟件，為客戶提供全面的應(yīng)用 范圍和特性，這是市場上競爭產(chǎn)品所不具備的。

表1 2600B軟件工具

特征/功能	ACS Basic版本	基于Java即插即用軟件	Test Script Builder (TSB)
說明	半導(dǎo)體特性分析軟件， 用于元件測試、驗(yàn)證 與分析	迅速啟動的、基于Java即插即用軟件工具，支持快速和容易的I-V測試，主要用于臺式和實(shí)驗(yàn)室用戶	為TSP儀器定制的腳本編寫工具
支持的硬件	2400系列、2600B系列、4200-SCS	2600B系列	2600B系列，3700系列
支持的總線	GPIB, LAN/LXI	LAN / LXI	GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB
功能	基于向?qū)У闹庇X圖形用戶接口（GUI），豐富的測試測試庫和曲線跟蹤能力	直線/對數(shù)掃描、脈沖、自定義掃描、單點(diǎn)源測量注意：可使用2600B的新API實(shí)現(xiàn)精確定時和通道同步	總體靈活的自定義腳本，功能齊全的調(diào)試器
數(shù)據(jù)管理	公式工具，包括多種數(shù)學(xué)函數(shù)	.csv文件導(dǎo)出	用戶定義
安裝	選購	不需要。內(nèi)嵌在儀表中	免費(fèi)下載或CD提供，安裝在PC上

當(dāng)您需要對封裝器件數(shù)據(jù)進(jìn)行快速采集時，通過 ACS Basic版本軟件基于相當(dāng)?shù)挠脩艚缑妫苋菀?發(fā)現(xiàn)和運(yùn)行期望的測試，就像常見的 FET曲線跟 蹤測試一樣。

ACS Basic版本軟件具有靈活的軟件體系結(jié)構(gòu)，允許為 系統(tǒng)配置多種控制器與測試夾具，并可以根據(jù)應(yīng)用需要， 配置所需的數(shù)字源表數(shù)量。

典型應(yīng)用

各種器件的I-V功能測試和特征分析，包括：

• 分立和無源元件
  – 兩抽頭器件——傳感器、磁盤驅(qū)動器頭、金屬 氧化物可變電阻（MOV）、二極管、齊納二極 管、電容、熱敏電阻
  – 三抽頭器件——小信號雙極結(jié)型晶體管（BJT）場效應(yīng)晶體管（FET），等等
• 簡單IC器件——光學(xué)器件、驅(qū)動器、開關(guān)、傳感 器、轉(zhuǎn)換器、穩(wěn)壓器
• 集成器件——小規(guī)模集成（SSI）和大規(guī)模集成（LSI） – 模擬IC
  – 射頻集成電路（RFIC）
  – 專用集成電路（ASIC）
  – 片上系統(tǒng)（SOC）器件
• 光電器件，例如發(fā)光二極管（LED）、激光二極管高亮度LED（HBLED）、垂直腔面發(fā)射激光器 （VCSEL）、顯示器
• 圓片級可靠性
  – NBTI、TDDB、HCI、電遷移
• 太陽能電池
• 電池
• 更多…

2604B/2614B型儀表的背板
(單通道2601B, 2611B, 2635B沒有給出)。

2636B型儀表的背板

在第一和第三象限，2600B系列儀器用作信號源，向負(fù)載提供 電源。在第二和第四象限，2600B系列儀器用作信號宿，內(nèi)部 消耗功率。

2601B、2602B和2604B的I-V測試功能

2611B、2612B和2614B的I-V 測試功能

2634B、2635B和2636B的I-V 測試功能